Bandeja de carboneto de silício-cerâmica-semicondutor-carboneto de silício

Características dos materiais

Alta resistência, alta condutividade térmica, alta pureza

Campos de aplicação

Semicondutor

Aplicação específica

Bandeja de wafer

Dificuldades no processamento

Planicidade Excelente paralelismo, bom acabamento superficial.

Fluxo do processo

Pó - granulação - moldagem - sinterização - usinagem fina - detecção - limpeza